气体纯化

气体纯化：半导体制造大量使用特种工艺气体，气体纯化过滤，是对大宗气体、特种气体在气源端、管路、机台前端，去除气体里的固体微粒、气溶胶、微量水汽、油污、金属杂质，防止颗粒污染晶圆，保障工艺稳定。

和液体过滤本质区别：介质是气体，污染物是固态粉尘、微小气溶胶；气体滤芯要求低压降、无纤维脱落、极低金属析出。