超纯水

超纯水：半导体超纯水，是芯片制造全流程用量最大的工艺介质，用于晶圆清洗、光刻后冲洗、蚀刻后漂洗、设备管路冲洗。超纯水过滤就是多级净化去除水中颗粒物、胶体、细菌、TOC、离子，把水纯化到电阻率≥18.2 MΩ・cm @25℃，供给 Fab 各湿法、光刻工序使用。

滤材选择：超纯水接近中性，但溶出、析出、纤维脱落是最大风险，对滤芯要求极低可萃取物、极低金属析出。
1.PP 聚丙烯滤芯：预处理粗滤、循环管路 0.2μm 过滤，性价比高；亲水性一般，需要充分润湿；
2.PES 聚醚砜滤芯：UPW 循环、终端 POU 常用，亲水性好、低析出、细菌截留强；
3.PTFE：多用于特殊工况，疏水，润湿麻烦，一般不作为常规超纯水主滤；