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囊式过滤器 ENU系列
- ENU系列囊式过滤器应用于中小流量液体的有效过滤 , 适用于半导体光刻胶过滤，这款过滤器紧凑而稳定的设计便于安装。过滤器能够在不到一分钟的时间内完成更换，无需任何工具或排液，最少化滴漏。多种膜材可选，使滤芯的使用范围更广。
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产品特点典型应用性能参数订货信息资料下载
产品特点
确保较低的浸出率，颗粒脱落，非挥发性残留物（NVR）和金属污染物
更快的系统刷新和延长过滤器的运行时间
疏水膜可以有效的减少污染，减少晶圆上的缺陷和提高产量
无需预润湿
更快的系统刷新和延长过滤器的运行时间
疏水膜可以有效的减少污染，减少晶圆上的缺陷和提高产量
无需预润湿
典型应用
适用于G3、G5化学品过滤
适用于高温、强腐蚀性化学品过滤
清洗水过滤
适用于高温、强腐蚀性化学品过滤
清洗水过滤
性能参数
|
滤材： |
PP、PTFE、UPE、N66 |
| 支撑材料: |
聚丙烯（PP） |
| 密封圈: |
FFKM |
| 最大工作压差: |
0.27Mpa（25°C） |
| 最大进口压力: |
0.37Mpa （25°C） |
| 最高工作温度: |
40°C |
订货信息
- ENU
- 系列=ENU
- P
- Code=材质
- P=PP
- T=PTFE
- N=N66
- U=UPE
- 10N
- Code=精度
- 10N=10nm
- 20N=20nm
- 50N=50nm
- 010=0.1μm
- 020=0.2μm
- 120=1.2μm
- 02
- Code=长度
- 02=2inch
- 04=4inch
资料下载
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