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半导体过滤纯化解决方案
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- Ф83全氟滤芯 EDFB系列
- EDFB系列全氟滤芯采用PTFE绝对孔径精度滤膜，PFA网为支撑层，用高纯度的PFA材料制作部件，使得滤芯具有耐化学腐蚀性能，同时具有低析出的特点，产品使用热熔焊接技术，无胶黏液，无介质脱落，确保滤芯可以高效、长时间的过滤腐蚀性化学品等料液。全氟结构可最大限度减少金属析出。
- PVDF类全氟滤芯 EPVA系列
- EPVA系列PVDF类全氟滤芯采用PTFE或PVDF绝对孔径精度滤膜，PVDF网为支撑层，用高纯度的PVDF材料制作骨架，使得滤芯具有耐化学腐蚀、耐高温性能，同时具有低析出的特点，确保滤芯可以高效、长时间的过滤腐蚀性化学品等料液。骨架、支撑层都采用氟材料，是可以耐臭氧的滤芯，适用于化学腐蚀性、高温原 材料的过滤，普遍应用于化工、电子行业等。
- 全氟滤芯 EDFA系列
- EDFA系列全氟滤芯采用PTFE绝对孔径精度滤膜，PFA网为支撑层，用高纯度的PFA材料制作部件，使得滤芯具有耐化学腐蚀性能，同时具有低析出的特点，产品使用热熔焊接技术，无胶黏液，无介质脱落，确保滤芯可以高效、长时间的过滤腐蚀性化学品等料液。全氟结构可最大限度减少金属析出。
- 全氟过滤器 EPFA系列
- 这是一款半导体设备上用的化学过滤器。滤壳接头与头部和滤筒一体式成型，从而缩小了装配所需空间。组件采用PFA全氟聚合物材质，具有优异的化学稳定性、耐温性和耐腐蚀性。高纯度设计、不含金属材料的结构。因此这些滤壳设计可满足超纯化学品对清洁度的严苛要求。入珠接头能够提供可靠的连接和密封，确保设备的正常运行和安全。特别适用于高压、高温、高腐蚀的工作环境。
- 囊式过滤器 ENU系列
- ENU系列囊式过滤器应用于中小流量液体的有效过滤 , 适用于半导体光刻胶过滤，这款过滤器紧凑而稳定的设计便于安装。过滤器能够在不到一分钟的时间内完成更换，无需任何工具或排液，最少化滴漏。多种膜材可选，使滤芯的使用范围更广。
- 囊式过滤器 ENS系列
- ENS系列囊式过滤器进出后都在一个方向，这种配置安全且快速，过滤器内有滤芯，安装方便，有多种滤材，根据过滤的物料，选择合适的滤材和精度，从而可以延长使用寿命和控制初始清洁度，无需预润湿。
- 囊式过滤器 ENL-NPT系列
- ENL-NPT系列囊式过滤器，外壳采用聚丙烯（PP）材质，产品涵盖各种规格材质，过滤介质损失小，不用单独安装滤芯，软管连接即可过滤，适用于光刻胶、超高纯气体、化学品过滤。
- 囊式过滤器 ENG系列
- ENG系列囊式过滤器，可以选择PP、PTFE作为滤材，PTFE滤膜保证了超高的拦截效率，而骨架采用PP材质，保证了气体的安全性， 进出口可选用多种规格的金属接头，安装快速、方便，使用时安全性较高。
- 囊式过滤器 ENF-(flare -style)系列
- ENF-(flare style)系列囊式过滤器专门用于CMP浆料过滤，囊式过滤器内的滤芯材质可以选用多种，梯度过滤，可以有效的增加产品的使用寿命，全聚丙烯（PP）材质，采用热熔焊接工艺，无任何胶粘剂，具备优越的过滤性能。
- 卷绕滤芯 ESP系列
- ESP系列深层卷绕滤芯，采用聚丙烯（PP）滤材制成，适用于CMP浆料过滤，可以大大提高过滤稳定性，是一款经济型抛光液体滤芯。
- 高通量聚醚砜滤芯 EAPS系列
- EAPS系列高通量聚醚砜滤芯采用非对称无支撑PES膜，大大延长了滤芯的使用寿命，有效节省了系统的过滤成本。具有强亲水性、高通量、高截留率，适应于电子级超纯水、水性液体等过滤。
- 聚酯折叠滤芯 EJZ系列
- EJZ系列聚酯折叠滤芯，采用聚酯材料制成，适用于液体中的悬浮物和胶状杂质预过滤、精密过滤。具有耐高温的特点，长期使用不变形，因此在许多条件苛刻的工业环境中也是理想的选择。适用于弱酸、弱碱、多数有机溶剂过滤。
- 耐腐蚀聚四氟乙烯滤芯 EFT系列／ELT系列
- EFT系列耐腐蚀聚四氟乙烯滤芯采用天然疏水PTFE膜，ELT系列耐腐蚀聚四氟乙烯滤芯采用永久改性亲水PTFE膜，广泛的化学相容性，可以过滤强腐蚀性液体、强氧化性液体。优异的耐化学腐蚀性能，确保滤芯可高效、长时间过滤各种高温的化学料液过滤气体过滤。
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