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全氟过滤器

  • 全氟过滤器 EPFA系列

  • 这是一款半导体设备上用的化学过滤器。滤壳接头与头部和滤筒一体式成型，从而缩小了装配所需空间。组件采用PFA全氟聚合物材质，具有优异的化学稳定性、耐温性和耐腐蚀性。高纯度设计、不含金属材料的结构。因此这些滤壳设计可满足超纯化学品对清洁度的严苛要求。入珠接头能够提供可靠的连接和密封，确保设备的正常运行和安全。特别适用于高压、高温、高腐蚀的工作环境。
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产品特点
有非常好的耐温性、耐腐蚀性 
超洁净的PFA材料确保过滤器的洁净度 
低金属离子析出避免对液体的污染
典型应用
高温、强腐蚀性化学品过滤 
半导体制程湿法工艺中酸、碱等湿化学品过滤
性能参数

本体: PFA / 1PCS
上盖: PFA / 1PCS
上盖螺帽: ECTFE / 1PCS
承口螺帽: PFA / 1PCS
密封圈: FFKM / 1PCS
螺栓螺母: PVDF / 4PCS
进口／出口: 3／4″     1PCS
排气阀: 1／2″        2PCS
排污阀: 1／2″        1PCS
最大工作压力
 0.3Mpa@100°C／0.75Mpa@25°C
最高工作温度
 100°C


订货信息
  • EPFA
  • 系列=EPFA
  • 10
  • Code=长度
  • 10=10inch
  • 20=20inch
  • R
  • Code=滤芯接口
  • R=222
  • D
  • Code=进出口
  • D=3／4″
  • F
  • Code=密封圈
  • F=FFKM
  • K
  • Code=骨架
  • K=FFKM
  • A
  • Code=洁净度
  • A=Dupont PFA
资料下载
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